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ASML新一代光刻机预计明年出货 生产效率提升18%

钨丝小编 | 2020-10-15 16:55

        极紫外光刻机是7nm和5nm芯片制程工艺所必不可少的设备,目前全球只有来自荷兰的光刻机巨头ASML能供应。

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        日前,在三季度财报中,ASML透露其全新的极紫外光刻机将在明年年中开始出货,型号为TWINSCAN NXE:3600D。

        据悉,新一代极紫外光刻机的生产效率将提升18%,在30mJ/cm2的曝光速度下每小时可处理160片晶圆。

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        目前台积电、三星这两大芯片代工商的制程工艺都已提升到7nm和5nm,他们所需要的极紫外光刻机也全部来自于ASML。

        值得一提的是,据财报显示,ASML三季度的净利润高达10.62亿欧元,上一季度为7.51亿欧元,增加3.11亿欧元。

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